[发明专利]一种微型发光芯片阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202310145366.7 | 申请日： | 2023-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN116072773A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 邱成峰;张珂 | 申请（专利权）人： | 深圳市思坦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L27/15;H01L21/033 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 郭晨晨 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种微型发光芯片阵列及其制备方法，涉及显示技术领域。制备方法包括：提供设定结构；在电极层上设置设定图案的第一掩膜层；基于设置为设定图案的第一掩膜层，对设定结构的电极层、电流扩散层、第三半导体层、多量子阱结构的第一预设区进行刻蚀，除去第一掩膜层，得到露出第二半导体层的第一中间结构；对第一中间结构的第二半导体层、第一半导体层、缓冲层的至少部分的第一预设区进行处理，得到露出衬底的第二中间结构；基于所述第二中间结构制备得到微型发光芯片阵列。本申请提供的微型发光芯片阵列的制备方法，简化了制备工艺流程，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 发光 芯片 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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