[发明专利]声表面波器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202310153429.3 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN116131801A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王阳;吴洋洋;曹庭松;陆彬 | 申请（专利权）人： | 北京超材信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/09 | 分类号： | H03H9/09;H03H9/05;H03H9/145;H03H9/02;H03H9/25;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 102600 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种声表面波器件及制造方法，器件包括衬底、叉指换能器、至少一个信号引线、至少一个金属构件、第一应力缓冲构件、多个凸块、安装基板和封装结构。衬底包括支撑衬底和声波响应薄膜，第一应力缓冲构件设置于声波响应薄膜与金属构件之间，第一应力缓冲构件覆盖金属构件在声波响应薄膜上的投影区域。通过上述设计，使得声表面波器件在制造过程中能够避免声表面薄膜的破损、裂纹等，提高声表面波器件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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