[发明专利]一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺

摘要

本发明涉及清洗设备技术领域，具体公开了一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺，包括清洗箱；清洗箱上设有容纳处理液的第一腔体；第一腔体内侧壁上固接有淋喷管；淋喷管外侧壁上固接有喷头；清洗箱顶部设置有顶板；顶板底面设置有电推杆；电推杆安装在清洗箱顶面上，电推杆输出端与顶板底面连接；顶板侧壁上连接有连接板；连接板端部固接有可伸入第一腔体内的垫板；垫板底面设置有夹持组件；清洗箱外侧壁上设置有可将第一腔体内的处理液输送至淋喷管内的输液机构；通过浸洗和淋喷冲洗相结合的方式对掩膜版表面的膜层进行去除，降低脱落的杂质再次附着在掩膜版表面上造成二次污染的可能性。