[发明专利]一种真空镀膜用旋转掩膜装置在审
| 申请号： | 202310197693.7 | 申请日： | 2023-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN116162897A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张新岳 | 申请（专利权）人： | 深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙) 44724 | 代理人： | 葛晓强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个基片槽，所述，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述转筒的外壁固定套设有环板，所述环板的侧壁固定连接有多个挡板。本发明能够在基片架在从生产线上生产下来之后，需要将基片架运输到各地之间，将弧形框罩设在基片架的外侧，从而对基片架表面的基片槽进行保护，避免外界的灰尘等颗粒物容易附着在基片槽内，需要操作人员进行清理，大大减少了操作人员的工作量，而且能够对基片架和掩膜板进行保护，避免基片架和掩膜板因为磕碰而损坏，减少材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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