[发明专利]一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质

摘要

本发明公开了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。方法包括：获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取扫描图像中标记点的观测位置信息；基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。本方案通过对扫描电镜下集成电路图像确定失真校正点的位置和尺寸和失真校正点的理想不失真位置和尺寸，以及理想不失真图像和失真图像之间的映射关系，解决了扫描电镜成像的过程存在的透镜畸变等问题，提高了图像校正的高效性。