[发明专利]一种声学传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310208439.2 | 申请日： | 2023-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN116322269A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 吴健兴;李仲民;但强;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;G01D5/48;H10N30/87;H10N30/07 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 姚宝然 |
| 地址： | 新加坡淡滨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种声学传感器及其制备方法，基底单元，基底单元包括自下而上依次层叠的第一硅层、第一氧化层以及第二硅层，基底单元内形成有背腔；第二氧化层，压电单元，形成于第二氧化层上，压电单元包括自下而上依次层叠的第一电极层、压电层以及第二电极层，压电单元内形成有狭缝以及开口；金属垫，金属垫层叠于开口处的第一电极层上；附加膜层，包括第一部分以及第二部分，第一部分平铺于第二电极层上并覆盖于狭缝上，第二部分平铺于金属垫上。与现有技术相比，本发明的压电单元可以以最大位移运动和最低限制振动，从而有效提高SPL和结构可靠性，附加膜层的厚度均匀分布在压电单元的顶部表面，适应于较大面积的声学传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声学 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声科技（新加坡）有限公司，未经瑞声科技（新加坡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310208439.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
