[发明专利]流程工艺处理方法、装置及设备有效

专利信息
申请号: 202310215775.X 申请日: 2023-03-08
公开(公告)号: CN115877811B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 张善贵;樊泳;刘聪;雷鸣 申请(专利权)人: 北京东方国信科技股份有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418;G06F18/25
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晓霞
地址: 100102 北京市朝*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供一种流程工艺处理方法、装置及设备,涉及工艺控制技术领域,该方法包括:获取生产过程控制的输入变量对应的对齐偏移量,以及多个第一采样时刻下的输出变量的采样值;根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的采样值,对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理,得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵,所述数据融合矩阵用于指示所述输入变量与所述输出变量之间的对应关系;根据预设工艺条件、所述多个第一采样时刻下所述输出变量的目标值和所述数据融合矩阵,确定所述输入变量的设定值。提高了流程工艺优化控制的效果。
搜索关键词: 流程 工艺 处理 方法 装置 设备
【主权项】:
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