[发明专利]一种半导体厂务数据合理监控设定的方法

摘要

本发明公开了一种半导体厂务数据合理监控设定的方法，通过建立各厂务管道的损耗函数模型，将传统的管道损耗黑箱数据呈现相对准确的模型数据，为半导体厂务供应端提供数据参考，同时依据设备端的供应需求，可以反推厂务端的实时供应条件，为半导体厂务及一般智能生产制造厂务提供一种精确的监控设定方式。本发明可以独立用于不同厂务供应系统的建模计算，对于厂务水、电、气及其他化学品建立不同的模型，即便是相同的厂务类型但供应方式不同情况下需要用独立的模型评估，通过精确数据建模和计算，将传统粗放式的依赖经验值来监控厂务的情况通过数据建模的方式达到精细化管理和精益生产的目的。