[发明专利]探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202310238491.2 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116399226A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王耀德;邵勇锋;黄亮;陈燕峰 | 申请（专利权）人： | 艾富瑞（苏州）测试科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质，属于自动化测试设备技术领域，方法包括：在校准板上确定第一初始视野中心；获取目标探针的预设坐标偏移量，根据预设坐标偏移量和第一初始视野中心确定扎针位置坐标；移动目标探针至扎针位置坐标处进行扎针，并基于第一初始视野中心获取扎针后的扎针图像；从扎针图像中确定目标探针扎针后的痕迹坐标，根据痕迹坐标和第一初始视野中心确定目标探针的实际坐标偏移量；根据预设坐标偏移量和实际坐标偏移量之间的大小关系，得到目标探针的位置校验结果。本申请提供的探针位置校验方法能够提高探针校验的效率和准确率，通过校验提高探针的精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 位置 校验 方法 系统 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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