[发明专利]获取阻变器件导电通道分布的方法在审
| 申请号： | 202310263816.2 | 申请日： | 2023-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN116400154A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 吴华强;孙雯;高滨;唐建石 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R19/00;G01N23/2255;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了获取阻变器件导电通道分布的方法，该方法包括提供阻变器件，该器件具有多个阵列排布的阻变器件单元；调控阻变器件的外界电压，剥离第一阵列电极层和/或第二阵列电极层暴露阻变层，获得不同阻态的待测阻变器件单元；扫描不同阻态的待测阻变器件单元的阻变层的表面信息，以获得不同阻态的待测阻变器件单元的电流分布；对阻变层进行平面取样，获得待测平面；令待测平面沿轴向旋转，扫描待测平面多个不同角度的结构信，对结构信息二维数据集进行三维重构，获得不同阻态的待测阻变器件单元的微观结构三维分布。由此，可以获得阵列级别阻变器件导电通道的电流分布与导电通道的微观结构的三维分布之间的对应关系。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 器件 导电 通道 分布 方法 | ||
【主权项】：
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