[发明专利]放肩缺陷实时检测方法、装置、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 202310267714.8 | 申请日： | 2023-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN115984276B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;刘华;文灿华 | 申请（专利权）人： | 内蒙古晶环电子材料有限公司;浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73;G06T7/66;G06T7/246;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 黄文勇 |
| 地址： | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种放肩缺陷实时检测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：通过实时获取晶体放肩阶段的放肩生长图像及对应的拍摄时间、放肩转速信息，对每次获取的放肩生长图像进行区域检测，得到晶体的肩部目标框，并对肩部目标框内区域进行特征检测，得到晶体熔点的第一目标框和晶体棱线的第二目标框，其中，基于肩部目标框确定晶体的中心，根据拍摄时间和放肩转速信息实时更新熔点、棱线相对中心的地标位置，并基于地标位置对第一目标框、第二目标框的追踪位置进行匹配追踪，确定晶体的放肩工艺状态。采用本方法能够实时稳定、精准地追踪晶体在放肩阶段的各熔点、棱线的状态，以确定晶体的放肩工艺状态。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 实时 检测 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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