[发明专利]一种准零刚度三自由度主动防微振平台有效
| 申请号： | 202310294487.8 | 申请日： | 2023-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN116292740B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 马跃;张厚根;高景作;尹波 | 申请（专利权）人： | 大连地拓电子工程技术有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/023 | 分类号： | F16F15/023;F16F15/067;F16F15/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种准零刚度三自由度主动防微振平台，包括底部气浮装置、波纹管、竖向压电驱动装置、支撑板和底座，所述底部气浮装置安装在底座顶部一侧，所述底部气浮装置顶部连接波纹管，所述波纹管顶部连接有主气浮装置，所述主气浮装置内部安装有活塞，所述底座顶部、底部气浮装置的左方和后方分别安装有竖向压电驱动装置，所述支撑块与顶板之间通过球铰B连接有横向压电驱动装置。本发明竖向和水平向主要通过气浮实现高频减振，通过压电驱动实现低频减振，隔振带宽，可以实现0.1Hz~200 Hz的振动控制，且定位精度高，承载力大，可满足1500kg精密仪器的承重要求，同时具备承载力和刚度的调整能力，可以适应于不同型号的精密仪器，适用范围广，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刚度 自由度 主动 防微振 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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