[发明专利]磁吸附组件以及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202310339639.1 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116334532A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 颜明哲 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 胡娟娟 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请提供一种磁吸附组件以及蒸镀装置，磁吸附组件用于将掩膜板吸附于基板，磁吸附组件包括支撑件和多个磁体；多个磁体设于支撑件的一侧，多个磁体包括第一磁体和第二磁体，第一磁体的磁场强度小于第二磁体的磁场强度，多个磁体用于将掩膜板吸附于基板。本申请提供的磁吸附组件，多个磁体的磁场叠加后的磁场强度分布的较为均匀，有利于提高磁吸附组件对掩膜板的吸附力的均匀性，进而提高掩膜板与基板的吸附作用的均匀性，提高掩膜板与基板的贴合效果，有利于提高基板的蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 组件 以及 装置 | ||
【主权项】：
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