[发明专利]镀膜方法和设备在审
| 申请号： | 202310342304.5 | 申请日： | 2023-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN116356277A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王伟;虞文韬;薛涛 | 申请（专利权）人： | 维达力实业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙岗区坂田街道雅*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜设备和镀膜方法，通过设置能够连通或阻断的进出料腔和主工艺腔以及能够在进出料腔和主工艺腔之间转移的货笼，进行镀膜操作时，只需要在进出料腔和主工艺腔阻断的情况下单独对进出料腔开门放气即可实现单个货笼的放入或者取出，从而可以在其中一个主工艺腔进行镀膜的过程中，向另一个主工艺腔放入装载有待镀膜件的第一货笼或者是将装载有已镀膜件的第二货笼取出，以提高镀膜的连续性；此外，由于每次取放货笼仅仅对进出料腔进行抽真空或放气，正在镀膜的主工艺腔与进出料腔始终阻断，因此可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于维达力实业(深圳)有限公司，未经维达力实业(深圳)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310342304.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种半虚拟化实现方法、装置、设备及介质
- 下一篇：背辊清洁方法及装置、涂布机
- 同类专利
- 专利分类
