[发明专利]一种行星盘固定盖板在审
| 申请号： | 202310350360.3 | 申请日： | 2023-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN116479386A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 李跃辉;石也琛;王子彤;路龙;唐克 | 申请（专利权）人： | 吉林麦吉柯半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 张红平 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种行星盘固定盖板，涉及半导体制造设备技术领域。行星盘固定盖板包括盖板本体及固定装置。固定装置包括固定件和弹性件，固定件设置在盖板本体的内侧，固定件为可拆卸结构，弹性件可通过固定件进行拆卸更换。弹性件的一端与固定件连接，并通过作用于盖板本体的弹性作用力固定在盖板本体上，弹性件的另一端通过形变产生的弹性作用力对待蒸镀晶圆进行抵持固定。在上述结构中，通过采用可拆卸的固定件来对弹性件进行更换，使得本申请实施例提供的行星盘固定盖板相对现有技术而言更加易于维护和修理，具有更高的灵活性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 固定 盖板 | ||
【主权项】：
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