[发明专利]一种晶体生长炉反射加热器在审
申请号: | 202310362088.0 | 申请日: | 2023-04-07 |
公开(公告)号: | CN116377598A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 吴玉珍;刘家元;李明辉;姚吉勇 | 申请(专利权)人: | 徐州宏晶新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27D99/00 |
代理公司: | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人: | 隋祥雷 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技术产业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了晶体生长炉技术领域的一种体生长炉反射加热器,包括:保温壳总成,所述保温壳总成包括保温套总成,所述保温套总成包括保温套;底盖总成,所述底盖总成包括底盖组件,所述底盖组件包括设置在所述保温套底部开口处的底板以及呈环形设置在所述底板顶部并设置在所述保温套内腔的红外加热器;顶盖总成,所述顶盖总成包括设置在所述保温套顶部的顶盖,所述顶盖为弧形顶盖,该种晶体生长炉反射加热器,通过红外加热器发出热辐射,热辐射照射到反光镜上,通过反光镜将热辐射聚焦在坩埚的内部对晶体直接加热,由于直接对晶体进行加热而不需要通过坩埚对温度进行传递,提高了热量的传导率,节约了能源。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 反射 加热器 | ||
【主权项】:
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