[发明专利]晶体生长设备的控制方法、系统、装置和存储介质在审
| 申请号： | 202310379214.3 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116377585A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王宇;雷沛 | 申请（专利权）人： | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;C30B19/10;C30B15/20 |
| 代理公司： | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人： | 张近甜 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本说明书实施例提供一种晶体生长设备的控制方法、系统、装置和存储介质，该方法包括：获取目标晶体生长设备的控制模式和目标生长结果，控制模式包括温度控制模式和功率控制模式中的至少一种；基于控制模式和目标生长结果，确定目标晶体生长设备的生长控制参数。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 控制 方法 系统 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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