[发明专利]一种含氟化合物的气流的处理装置

摘要

本发明公开了一种含氟化合物的气流的处理装置，该装置属于废气处理技术领域，包括主箱体，所述主箱体内设置有废气进气管和废气排气管，所述主箱体内顺序连接有等离子火炬、反应室、蒸汽反应炉以及洗涤室，所述蒸汽反应炉与所述废气进气管连通有混合组件，所述主箱体内底部设有对废气吸热的水槽，所述水槽上方连通有换热器，所述换热器包括内部设置的降温组件，所述水槽内设有对废气扰动的导流组件。本发明通过导流组件加速水对热气吸热效果，并通过对换热器的改进提高废气换热效率，有利于后续洗涤室处理气流，大大提高了含氟废气处理效果。