[发明专利]图像矫正方法及装置在审
| 申请号： | 202310390514.1 | 申请日： | 2023-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN116416160A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 于皓;鄢昌莲;毛礼;张荣佳;甘远;韩春营 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06T5/00 | 分类号： | G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人： | 张婷婷;杨彦鸿 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图像矫正方法及装置，该方法包括：将待测样片的设计版图与扫描电子显微镜SEM图像进行中心对齐；基于设计版图及所述SEM图像中的图像单元，确定关键点对；基于关键点对，对SEM图像进行矫正，得到矫正后的SEM图像；基于设计版图及所述矫正后的SEM图像，确定畸变量；在畸变量小于预设阈值的情况下，确定SEM图像矫正结束。由此，可以基于设计版图及SEM图像中的图像单元，确定关键点对，再基于该关键点对对SEM图像进行矫正，由于该待测样片的SEM图像中的图像单元与设计版图中的图像单元可以尽量保持一致，从而可使得SEM图像的矫正更为准确可靠，从而提高了SEM图像矫正的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 图像 矫正 方法 装置 | ||
【主权项】：
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