[发明专利]一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202310457575.5 | 申请日： | 2023-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN116360509A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 任文华;可贵秋;孙振宇;曾建强;张晓红;任伟燕;王雷 | 申请（专利权）人： | 北京博赛德科技有限公司;北京博赛泰克质量技术检测有限公司;英尼仪器（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 秦溪 |
| 地址： | 101300 北京市顺义*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质，涉及流量控制的领域，该方法包括获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组，基于第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，基于第一压力值控制第一压力控制器动作，基于第二压力值控制第二压力控制器动作。本申请能够使得限流器在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量 控制 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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