[发明专利]一种Mini LED芯片自动化制程装置及方法有效
| 申请号： | 202310497158.3 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN116207194B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 江宝焜;郑水锋;李建平;王鑫 | 申请（专利权）人： | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Mini LED芯片自动化制程装置，该装置包括：点测机，用于接收扩膜前的Mini LED芯片，并对Mini LED芯片进行点测，获取Mini LED芯片的点测信息，依据点测信息获取Mini LED芯片的第一分bin信息；扩膜机，用于接收点测后的Mini LED芯片，进行扩膜；AOI检测机，用于接收扩膜后的Mini LED芯片，对Mini LED芯片进行AOI检测，获得Mini LED芯片的外观检测信息，依据外观检测信息和第一分bin信息，获得Mini LED芯片的第二分bin信息；固晶机，用于接收自动光学检测后的Mini LED芯片，还用于接收第二分bin信息，依据第二分bin信息将Mini LED芯片可选择地转移至目标基板。本发明优化了传统Mini LED芯片从点测到固晶的步骤，去掉了传统流程的分选、目检及计数入库等流程，提高效率，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mini led 芯片 自动化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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