[发明专利]光罩、阵列基板及其制作方法、显示面板及电子设备

摘要

本发明提供一种光罩、阵列基板及其制作方法、显示面板及电子设备，光罩包括基体和设置于基体上的图案层，基体为凸透镜。图案层一般由不透光的材料制成，图案层形成有图形，经过曝光、显影、蚀刻等工序后能够将对应的图形转移到基板上。当光线通过图案层的孔隙时会发生散射，造成实际入射到光阻层上的关键尺寸偏宽，降低了最终产品的精度。该光罩通过将基体成设计为由凸透镜制成，光线通过图案层的间隙入射到凸透镜上，虽然同样会产生光的散射，但当光线穿过凸透镜时，由于凸透镜具有汇聚光线的作用，能够减小或抵消光的散射作用，使得穿过凸透镜后入射到光阻层上的光线与光罩的实际间隙大小相同或更相近，提高了制作精度。