[发明专利]一种蒸镀设备和坩埚在审
| 申请号： | 202310566229.0 | 申请日： | 2023-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN116590668A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 刘佳宁;白珊珊;李彦松;刘华猛;王宇钊;郑伟业;吴海东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H10K71/16 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 詹守琴 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀设备和坩埚，蒸镀设备包括：腔室底座；加热源，加热源设置在腔室底座上；至少一个坩埚存放位，坩埚存放位与热源呈中心对称地设置在腔室底座上；以及，坩埚更换装置，坩埚更换装置包括设置在腔室底座上的升降旋转组件和设置在升降旋转组件上的坩埚移位支架；其中，升降旋转组件位于加热源与坩埚存放位的对称中心处；坩埚移位支架包括与坩埚存放位和加热源的数量之和相对应的支臂，支臂呈中心对称地设置在升降旋转组件上，每个支臂设有与加热源或坩埚存放位位置相对应的移位固定部。通过坩埚更换装置使坩埚存放位的坩埚可以依次被移动至加热源中用于蒸镀，在更换蒸镀材料时可以避免需要开腔操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 坩埚 | ||
【主权项】：
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