[发明专利]一种新型三氯氢硅精馏工艺在审
| 申请号： | 202310570944.1 | 申请日： | 2023-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN116639698A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张豪豪;郑开学;陈锦溢;姚又省;丁哲;刘继三;华超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院过程工程研究所;华陆工程科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京荣哲知识产权代理事务所(普通合伙) 11998 | 代理人： | 袁丽娟 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型三氯氢硅精馏工艺，包括依次串联的一级隔板精馏塔、二级反应精馏塔和三级隔板精馏塔。本发明工艺创新性的将反应精馏过程强化技术以及隔板精馏塔和差压热耦合精馏这两种集成节能技术应用于三氯氢硅提纯过程中，强化了各级精馏塔分离的强度。相较于传统三氯氢硅精馏工艺，本发明工艺能耗低、投资小，且能有效的去除三氯氢硅中硼、磷、碳等杂质，使三氯氢硅产品品质满足电子级二级及以上多晶硅的制备要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 三氯氢硅 精馏 工艺 | ||
【主权项】：
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