[发明专利]自适应调整抛光头以及抛光装置在审
| 申请号： | 202310614753.0 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116394093A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 万先进;胡孟杰;李俊;尤国振;张怀东;朱松;边逸军 | 申请（专利权）人： | 宁波芯丰精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B29/02;B24B41/047;B24B55/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 袁微微 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种自适应调整抛光头，用于弥补抛光垫安装偏差，自适应调整抛光头包括第一固定块，第一固定块设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，阶梯腔包括大径段和小径段；在大径段内滑动有第二固定块，第二固定块背离小径段的一侧具有抵接凸块，而大径段的开口处设置有与第一固定块连接的第三固定块，第三固定块面向大径段的一侧设置有与抵接凸块的端面配合的抵接槽，抵接凸块能够抵接在抵接槽内自由偏转；第三固定块背离抵接槽一侧连接有抛光垫座。抛光装置采用上述自适应调整抛光头从而在进行抛光时，当抛光垫安装在抛光垫座时出现偏差后，由于抛光垫的受力不均则会使抵接凸块与抵接槽出现相对偏斜，从而弥补安装偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 自适应 调整 抛光 以及 装置 | ||
【主权项】：
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