[发明专利]计算层间叠对偏移量的方法以及电子装置在审
申请号: | 202310670745.8 | 申请日: | 2023-06-07 |
公开(公告)号: | CN116643466A | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 袁廖杰;郭倍诚;黄俊华;沈静萱;陈俊维;薛朝鸿;林奕翰;张禄坤 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李琛 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 计算层间叠对偏移量的方法以及电子装置。首先,获得目标影像。接着,在目标影像中找出符合第一模板的第一区域。在第一区域中找出符合第二模板的第二区域。在第二区域中找出与对应至第一侧的第三模板相符的第三区域,以及找出与对应至第二侧的至少一第四模板相符的至少一第四区域。之后,以相似度最高的第四区域的中心点与第三区域的中心点来计算偏移量。 | ||
搜索关键词: | 计算 层间叠 偏移 方法 以及 电子 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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