[发明专利]一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂在审
| 申请号： | 202310680048.0 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116588680A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 安礼余;王定国 | 申请（专利权）人： | 宇弘研科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G35/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂，属于机械臂输送结构领域。该自对准结构，包括基板、驱动电机和抓取座。所述基板的下端面设置有往复移动组件；所述驱动电机设置于所述基板的上端面，且所述驱动电机的输出轴与所述往复移动组件驱动连接；所述抓取座连接于所述往复移动组件，且所述抓取座的侧壁开设有进料槽。本申请通过驱动电机驱动往复移动组件和抓取座进行往复移动，使半导体工件可可以对准抓取座表面的进料槽，更利于半导体工件进入到进料槽内，无需再调控机械臂对基板的位置进行微调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对准 结构 半导体 轨道 传输 手臂 | ||
【主权项】：
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