[发明专利]阵列基板以及显示面板在审
申请号: | 202310748639.7 | 申请日: | 2023-06-21 |
公开(公告)号: | CN116544244A | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 袁鑫;袁海江 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H10K59/122 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 强珍妮 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种阵列基板以及显示面板,阵列基板包括衬底、多晶硅有源层、第一栅绝缘层、第一金属层、第二栅绝缘层、氧化物有源层;其中,氧化物有源层包括第一沟道区和位于第一沟道区两侧的第一掺杂区;第一金属层经一次光罩工艺形成间隔设置的第一栅极、第一源极以及第一漏极;第一栅极位于第一沟道区的正下方;第一源极和第一漏极分别与第一沟道区两侧的第一掺杂区连接,且第一源极或第一漏极朝向背离第一栅极的方向延伸,以作为存储电容的下极板层。具体的,本申请通过一次光罩工艺形成氧化物有源层的第一栅极、第一源极、第一漏极,以及存储电容的下极板,可以减少基板制作过程中的光罩工艺,进而减少制作成本,且简化制作工艺。 | ||
搜索关键词: | 阵列 以及 显示 面板 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的