[发明专利]阵列基板以及显示面板在审

专利信息
申请号: 202310748639.7 申请日: 2023-06-21
公开(公告)号: CN116544244A 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 袁鑫;袁海江 申请(专利权)人: 惠科股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H10K59/122
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 强珍妮
地址: 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供一种阵列基板以及显示面板,阵列基板包括衬底、多晶硅有源层、第一栅绝缘层、第一金属层、第二栅绝缘层、氧化物有源层;其中,氧化物有源层包括第一沟道区和位于第一沟道区两侧的第一掺杂区;第一金属层经一次光罩工艺形成间隔设置的第一栅极、第一源极以及第一漏极;第一栅极位于第一沟道区的正下方;第一源极和第一漏极分别与第一沟道区两侧的第一掺杂区连接,且第一源极或第一漏极朝向背离第一栅极的方向延伸,以作为存储电容的下极板层。具体的,本申请通过一次光罩工艺形成氧化物有源层的第一栅极、第一源极、第一漏极,以及存储电容的下极板,可以减少基板制作过程中的光罩工艺,进而减少制作成本,且简化制作工艺。
搜索关键词: 阵列 以及 显示 面板
【主权项】:
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