[发明专利]掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202310810542.4 | 申请日： | 2023-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN116539638A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张南;郭嘉杰;黄吉裕;胡承;王慧勇;刘自然;罗骞 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/63;G01N21/84;G01N27/22;G01B21/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈椅行 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于测量掺杂浓度的技术领域，公开了一种掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：步骤S101，获取测量点的数量和位置坐标，步骤S102，根据数量和位置坐标，对测量点进行拍照，得到测量点的位置图片，步骤S103，基于位置图片，对测量点进行坐标修正，得到修正坐标后的测量点，步骤S104，对修正坐标后的测量点进行测量，得到修正坐标后的测量点的掺杂浓度数据，通过测量修正坐标后的测量点的掺杂浓度，以获取测量点的掺杂浓度，提高了掺杂浓度的测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 浓度 测量方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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