[发明专利]一种大公斤碳化硅粉料合成方法有效
| 申请号： | 202310826893.4 | 申请日： | 2023-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN116553555B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 徐红立;林育仪 | 申请（专利权）人： | 通威微电子有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 610299 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大公斤碳化硅粉料合成方法，涉及碳化硅粉料制备技术领域，该方法将炉腔升温至第一排杂温度T1，利用PVC颗粒层的一次分解气体将大量杂气得以清除，实现一次排杂，然后再将炉腔升温至第二排杂温度T2，利用持续分解产生的二次分解气体持续带走杂气，实现二次排杂，持续将杂质去除，最后将炉腔升温至第三排杂温度，利用三次分解气体实现三次排杂。相较于现有技术，本发明一方面采用分散装料的方式，减小原料积压，减少碳化挥发现象，实现大公斤粉料的制备，提升产出率。另一方面使得反应坩埚能够实现不同温区的多次换气排杂，大幅提升排杂效果，可以有效提高粉料纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 公斤 碳化硅 合成 方法 | ||
【主权项】：
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