[实用新型]一种旋转溅射靶材防跌落承托平台

摘要

本实用新型公开了一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，包括安装架，所述安装架底部的右侧固定安装有承托板，所述承托板顶部的左侧固定安装有蓄电池，所述承托板的右侧固定安装有控制器，所述安装架的顶部固定安装有固定框。本实用新型通过承托板、控制器、固定框、蓄电池、凸杆、压力传感器、连接弹簧、收纳槽、辅助框、伺服电机、螺杆和螺套配合使用，解决了承托平台采用固定式模具对旋转靶材进行承载收纳，在实际生产过程中，应对于不同直径的旋转靶材需更换不同大小规格的模具，在此过程中大大增加操作时间，影响工作效率，且不能进行上下定位防护，旋转靶材容易在转运过程中上下位移而脱离，存在一定安全隐患的问题。