[实用新型]一种研磨设备的气体静压回转平台有效

专利信息
申请号: 202320069494.3 申请日: 2023-01-10
公开(公告)号: CN219255203U 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 赵康 申请(专利权)人: 苏州翠竹半导体有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/04
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 朱世新
地址: 215000 江苏省苏州市苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种研磨设备的气体静压回转平台,包括回转平台主体,所述回转平台主体底端轴心通过主轴连接有转动组件,转动组件包括设于主轴末端的制动轴杆、通过传动皮带与制动轴杆连接的驱动电机、与主轴上的环形齿轮啮合传动的气压回转组件,所述驱动电机固定在支撑底座内,从而达到环形齿轮对主轴回转推动,在回转平台主体的底端设置配合气压回转组件的转动组件,使回转平台主体对工件带动工件缓慢回转复位,给工件通过回转平台主体的回转研磨调整研磨角度的时间,降低对工件研磨加工的损坏率,提高对工件研磨精度。
搜索关键词: 一种 研磨 设备 气体 静压 回转 平台
【主权项】:
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