[实用新型]长晶炉有效
| 申请号： | 202320161478.7 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN218812222U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 简征程;卫元元;王奇缘;吕芳栋;罗鸿;叶水全;张哲;徐江;李建;李书文;卿成;张旭;张建 | 申请（专利权）人： | 通威微电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种长晶炉，属于碳化硅生产领域，长晶炉包括炉体、冷却管路以及接地结构，冷却管路设置于炉体，用于冷却炉体，接地结构与冷却管路电连接，用于使冷却管路接地。通过设置接地结构，将冷却管路接地，从而可以有效地将冷却管路以及流经冷却管路的水中的电荷引入大地，一方面可以排除长晶炉的冷却管路内的电荷，另一方面可以排除流经冷却管路的水中的电荷，避免带电的水回到PCW，从而尽可能避免因管路和水流带电导致的人员触电、设备受损以及电磁干扰等情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 | ||
【主权项】：
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