[实用新型]一种清洗结构及光罩清洗机

摘要

一种清洗结构及光罩清洗机，涉及光罩加工技术领域。该清洗结构包括机台、设置在机台上的液源组件、管路和控制器，以及设置在管路上的脏污感应器，液源组件用于存放和输送清洗液，管路的入口端与液源组件连接，出口端用于向待清洗产品喷洒清洗液，脏污感应器与控制器电连接，脏污感应器用于检测管路内的脏污并向控制器发出警示信号。该清洗结构通过在管路上设置脏污感应器，实时监测管路内清洗液的洁净程度，若检测到脏污，能够及时向控制器发出警示信号，提醒工作人员停止清洗，阻止待清洗产品受影响，并且省去了中间排查的时间，在第一时间就找到出现问题的管路。