[实用新型]一种PVD真空镀膜用真空腔检测机有效
| 申请号： | 202320276496.X | 申请日： | 2023-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN219142166U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 唐海明;向炜 | 申请（专利权）人： | 厦门世鑫达工贸有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34;C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 广州辉久专利代理事务所(普通合伙) 44951 | 代理人： | 谢燕钿 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种检测机，尤其涉及一种PVD真空镀膜用真空腔检测机。本实用新型提供一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机，包括有机体、电离真空计、进气管、滤框、出气管、滤架和挡板，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。通过设置滤架可以过滤气体的细微杂质，将细微杂质吸附在滤架上，保证进入电离真空计电离的气体清洁性，使电离真空计的示数准确性高,达到了可以准确测出数值并且检测密封性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空镀膜 空腔 检测 | ||
【主权项】：
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