[实用新型]一种晶体生长炉炉压稳定装置有效
申请号: | 202320383063.4 | 申请日: | 2023-03-03 |
公开(公告)号: | CN219430188U | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 沈琨;沈振宇 | 申请(专利权)人: | 南京暾辉光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 南京新诚汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32661 | 代理人: | 吴凡 |
地址: | 211800 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置,涉及晶体生长炉装置技术领域;一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体,主炉体的内部固定连接有压力管,压力管的侧部固定连接有压力表,压力管的侧部固定连接有压力控制阀,压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管,净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环,净化管的顶端固定连接有导液管,通过采用压力表查看内部压力,通过压力控制阀进行控制炉压,通过净化管进行吸气注气,通过导液管注液,通过雾状导液环使液体成雾状或滴状流下,将气体内部一些杂质吸附下降,通过采用活性炭吸附板进行初步吸附空气中的一些杂质,通过过滤板二次过滤空气中的一些杂质,避免杂质参与内部反应。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 炉炉压 稳定 装置 | ||
【主权项】:
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