[实用新型]双向笼式载具移载装置有效
| 申请号： | 202320643611.2 | 申请日： | 2023-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN219586174U | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 虞文韬;谢振岗;晏海燕;王来泉 | 申请（专利权）人： | 维达力实业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杜杨 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙岗区坂田街道雅*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 笼式载具移载 装置 | ||
【主权项】：
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