[实用新型]一种双偏振照明模组有效
| 申请号： | 202320747421.5 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN219302258U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 顾文斐;蔡雄飞 | 申请（专利权）人： | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G02B27/28;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双偏振照明模组，属于半导体光学成像领域，双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件；其中，双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆；本申请的方案使用沃勒斯顿偏振器实现同时的水平/垂直偏振照明，提高了成像效率，可在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 照明 模组 | ||
【主权项】：
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