[实用新型]一种CVD工具真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202320902656.7 申请日: 2023-04-21
公开(公告)号: CN219342279U 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 刘振波;陈宪纬;李滔;江玉卿 申请(专利权)人: 深圳海容高新材料科技有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/458
代理公司: 广东亚太科恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44902 代理人: 胡仕国
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及CVD镀膜技术领域,且公开了一种CVD工具真空镀膜机,包括主体,所述主体的内部设置有夹持机构,所述夹持机构包括有转动轴、连接块和挡块,所述转动轴的一端与主体内部的右侧转动连接。该种CVD工具真空镀膜机,通过真空机和抽气管的作用,使得主体内部的空气被抽出,在抽出内部的空气后,在通过电机的作用,可以带动加热丝对主体的内部进行相应的加热,在加热时,可以对热熔盘内部的镀膜原料进行相应的加热,在通过主体内部的左侧固转动安装的转动轴,有效的解决了如何对镀膜件进行夹持的问题,可以达到更加便捷的进行镀膜的效果,同时,可以提高相应的镀膜效率,也可以在使用时,提高整体的产品合格率,利于在实际中的使用。
搜索关键词: 一种 cvd 工具 真空镀膜
【主权项】:
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