[实用新型]一种CVD工具真空镀膜机有效
申请号: | 202320902656.7 | 申请日: | 2023-04-21 |
公开(公告)号: | CN219342279U | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 刘振波;陈宪纬;李滔;江玉卿 | 申请(专利权)人: | 深圳海容高新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/458 |
代理公司: | 广东亚太科恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44902 | 代理人: | 胡仕国 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及CVD镀膜技术领域,且公开了一种CVD工具真空镀膜机,包括主体,所述主体的内部设置有夹持机构,所述夹持机构包括有转动轴、连接块和挡块,所述转动轴的一端与主体内部的右侧转动连接。该种CVD工具真空镀膜机,通过真空机和抽气管的作用,使得主体内部的空气被抽出,在抽出内部的空气后,在通过电机的作用,可以带动加热丝对主体的内部进行相应的加热,在加热时,可以对热熔盘内部的镀膜原料进行相应的加热,在通过主体内部的左侧固转动安装的转动轴,有效的解决了如何对镀膜件进行夹持的问题,可以达到更加便捷的进行镀膜的效果,同时,可以提高相应的镀膜效率,也可以在使用时,提高整体的产品合格率,利于在实际中的使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 cvd 工具 真空镀膜 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的