[实用新型]一种坩埚转位装置有效
| 申请号： | 202321011819.9 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN219490135U | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 周治宇;崔勇 | 申请（专利权）人： | 成都中科德联真空科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610093 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，坩埚组件转动连接在主轴顶端，抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，主轴内部设置有气动杆，坩埚组件包括承重盘，气动杆与承重盘底端连接固定。坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩埚盖，坩埚安装在坩埚底座上，坩埚底座安装在承重盘上，支撑盘安装在承重盘底端，且支撑盘固定在主轴顶端外侧，坩埚盖设置在坩埚上，坩埚盖上安装有把手。本申请具有功能更灵活、操作方便，配套大型镀膜设备等较好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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