[其他]垂直倒相器电路无效

专利信息
申请号: 86108046 申请日: 1986-10-28
公开(公告)号: CN86108046A 公开(公告)日: 1987-07-01
发明(设计)人: 阿什温·H·萨;巴拉布·K·查特尔基 申请(专利权)人: 得克萨斯仪器公司
主分类号: H01L27/08 分类号: H01L27/08
代理公司: 上海专利事务所 代理人: 冯晓明,魏文忠
地址: 美国得克萨*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明实施例中包括一种垂直倒相器(31,32,33)。在一块N型衬底的表面,形成一层P型材料层,再依次形成一层N型层;一层P型层;一层N型和一层P型层(在制备过程中,可以掺各种不同的杂质,这并不超出本发明的范畴)。再沿着以上述方法形成的叠层的一侧蚀刻一条沟槽,在P型和N型层的中间形成一接线端。再形成另一沟槽,其中有一栅极绝缘体和一栅极(A,B)。该栅极作为以上述方法形成的N型沟道和P型沟道晶体管的栅极。
搜索关键词: 垂直 倒相器 电路
【主权项】:
1、一种集成电路电子器件,本发明的特征在于,该器件包括:一个第一导电类型的衬底;一个第二导电类型的第一沟道层,沟道层形成在所述衬底的表面;一个所述第一导电类型的第一漏极层,此漏极层形成在所述第一沟道的层表面;一个所述第二导电类型的第二漏极层,此漏极层形成在所述第一漏极层的表面;一个所述第一导电类型的第二沟道层,此沟道层形成在所述第二漏极的层表面;一个所述第二导电类型的源极层,此源极层形成在所述第二沟道层的表面;一个导电的栅极,垂直地布置在一个和所述第一和第二沟道层,所述第一和第二漏极层以及所述源极层的平面相垂直的边缘上,并和这些层相邻,其中所述栅极与所述层之间互相绝缘;一个导电区与所述第一和第二漏极层相连接。
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