[其他]泄漏检测器以及其工作方法无效
申请号: | 87105703 | 申请日: | 1987-08-21 |
公开(公告)号: | CN87105703A | 公开(公告)日: | 1988-10-19 |
发明(设计)人: | 格罗斯·比雷·沃纳;理彻·冈特 | 申请(专利权)人: | 莱博尔德有限公司 |
主分类号: | G01M3/04 | 分类号: | G01M3/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 蔡民军 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种根据对流原理工作的泄漏检测器,它有一个第一高真空泵9,其进口侧8与泄漏检测器的进口1相连;第二高真空泵12,其进口侧13与质谱仪14相连;一个预真空泵19,其进口侧18与高真空泵9,12的出口15,16相连;为了能发现特别严重的泄漏,并避免因高的试验气体浓度而过载,设有第二预真空泵26,其进口侧25,一路经一条有一个伺服阀24的管路23与泄漏检测器的进口1相连,另一路经一条有一个节流阀29的管路27与预真空泵19的进口18相连。 | ||
搜索关键词: | 泄漏 检测器 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
1、根据对流原理工作的泄漏检测器,有一个第一高真空泵(9),其进口侧(8)与泄漏检测器的进口(1)相连;一个第二高真空泵(12),其进口侧(13)与一台质谱仪(14)相连;和一个预真空泵(19),其进口侧(18)与高真空泵(9,12)的出口侧(15,16)相连,其特征是,有一个预真真空泵,其进口侧,一个经过有伺服阀(24)的管路(23)与泄漏检测器的进口(1)相连,另一路经过有节流阀(29)的管路(27)与第一预真空泵(19)的进口侧(18)相连。
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