[实用新型]减压真空导入装置无效
| 申请号： | 90209351.7 | 申请日： | 1990-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN2074023U | 公开（公告）日： | 1991-03-27 |
| 发明（设计）人： | 钱石南;刘万波;刘泽文;阚娅 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国科学技术大学专利事务所 | 代理人： | 童建安 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种减压真空导入装置，涉及真空技术领域。该装置用波纹管把运动导入工作真空腔室，波纹管的一侧为工作真空腔室，它的另一侧处于粗密封环境，并与一减压装置相接通，工作时形成低真空，使波纹内外壁的压差大幅度减小，从而有利于导入件的运动，动作灵活，响应时间短。该装置可广泛用于执行各种真空环境中的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 真空 导入 装置 | ||
【主权项】：
1、一种减压真空导入装置，它包括有驱动系统1，导入件2和波纹管3，其特征在于所述波纹管的内外壁面中的一面处于工作真空腔室4中，另一面处于粗密封环境5中，该粗密封环境5与减压装置8相接通。
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