[发明专利]氮化硼坩埚及其制造方法

摘要

一种具有一个封闭端，一个开口端，一个内表面和一个外表面的一氮化硼坩埚，其特征是至少有一部分外表面优选为靠近坩埚开口端上有包括一层热解石墨衬层和一层热解一氮化硼外层的双涂层。还公开了一种用于制造该一氮化硼坩埚的方法。

主权项

1.一种用于制备带有一个开口端的氮化硼坩埚的方法，其中包括以下几个步骤：(a)预制一个卷筒，该卷筒具有将要制备的一端开口坩埚所要求的形状，并将氮化硼沉积到该卷筒上，直至在该卷筒上沉积的氮化硼达到所要求的厚度为止；(b)在坩埚的表面上的选定区域上，将石墨沉积到已沉积氮化硼的坩埚上，直至在该选定的区域上沉积的石墨达到所要求的厚度为止；(c)将氮化硼沉积到所述已沉积的石墨上直至沉积的氮化硼达到所要求的厚度为止；和(d)从卷筒上取出氮化硼坩埚，该坩埚至少在一部分外表面上具有热解石墨内层和热解氮化硼外层；其中，在步骤(b)中沉积的石墨厚度从0.001到0.1英寸，而且在步骤(c)中在已沉积的石墨上沉积的氮化硼的厚度从0.002到0.04英寸。