[发明专利]弧源-多离子束材料表面改性技术无效
| 申请号： | 92100416.8 | 申请日： | 1992-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN1074715A | 公开（公告）日： | 1993-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈宝清 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;H01J37/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利事务所 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 11602*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 弧源-多离子束材料表面改性技术是在具有离子束注入源、离子束溅射源、弧源及工件负高压电源等装置中实现的。处理工件表面改性层有较宽过渡层，附着性好，沉积速率高；在工件表面可形成单层或多层氮化物、碳化物、氮-碳化物等改性层；一机可以完成离子镀、离子束混合、离子注入。可用于各类刀具、模具、轴承、牙轮钻、手表、灯具等零件；本技术无公害，有广泛应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 弧源 离子束 材料 表面 改性 技术 | ||
【主权项】：
1、一种弧源一多离子束材料表面改性技术是在由真空室(1)、弧源(2)、离子束注入源(9)、离子束溅射源(6)、工作台(3)、工件负高压电源(4)、靶台(8)等组成的设备装置中实现的，其技术主要特征是：以弧源(2)、离子束注入源(9)、离子束溅射源(6)、工件负高压电源(4)作为弧源一多离子束材料表面改性技术系统的供电装置，产生金属原子束及气体离子束；工件(5)加上负高压电场吸引气体离子束。
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