[发明专利]表面电子能谱的测量方法及其装置无效
| 申请号： | 92106277.X | 申请日： | 1992-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1031902C | 公开（公告）日： | 1996-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李京;夏邦杰;张立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属腐蚀与防护研究所 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227 |
| 代理公司： | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人： | 闵宪智 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种表面电子能谱的测量方法及其装置，试样加热采用直接加热方式，其特征在于加热电流采用脉冲调制波的形式，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行。一种实现上述测量方法的测量系统，其特征在于用脉冲调制开关电源产生上述方法中的电流，本发明具有不影响系统真空度、加热区减小、温度上限高、升温速度快，且测试信号不受影响等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 电子 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种表面电子能谱的测量方法，包括试样加热、系统冷却、温度检测和信号检测四部分，试样加热采用直接加热方式，其特征在于：(1)加热电流采用脉冲波的形式，在脉冲波的间歇周期Δt2内进行信号检测，在Δt1内进行试样加热，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行；(2)在脉冲波的基础上调制以交变周期振荡电流，如方波、三角波、正弦波等；
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