[发明专利]光敏材料无效
申请号: | 92112174.1 | 申请日: | 1992-10-21 |
公开(公告)号: | CN1086023A | 公开(公告)日: | 1994-04-27 |
发明(设计)人: | 洪啸吟;吴兵;毛应群 | 申请(专利权)人: | 北京化学试剂研究所;清华大学 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 1000*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 提供了一种光敏材料,可用于近紫外光波段(300~500nm),其中的光敏组合物中含有敏化剂、交联剂、以及一种对光辐照曝光后能产生酸的组分。 | ||
搜索关键词: | 光敏 材料 | ||
【主权项】:
1、一种光敏材料,它包括载有光敏涂层的支持体,所述的光敏涂层含有:(1)一种聚合物及交联剂,在酸作用下,可交联成网状结构,交联剂含量为聚合物的5~150%wt。(2)一种或若干种敏化剂,使光敏涂层在紫外吸收波段在近紫外区[300~500nm];(3)一种光敏组分,它在对光辐照射曝光后可产生酸。
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