[实用新型]激光干涉调焦装置

摘要

本实用新型公开了一种激光干涉调焦装置，它包括光源(1)、准直镜(3)、物镜(6)、反射面(7)、接收面(13)，所述光源(1)采用激光管，扩束镜(2)置于激光管(1)和准直镜(3)之间，来自准直镜的光束经分束器(10)反射或透射后，到达分束器(9)，被分为两束光，一束透过分束器(9)，经反射镜(8)由原光路返回；另一束经分束器(9)，反射后透过物镜(6)入射到反射面(7)上，再经物镜(6)、分束器(9)返回，上述返回的两束光形成干涉并可在接收面(13)上接收。

主权项

1、一种激光干涉调焦装置，包括光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]，其特征是，所述光源[1]采用激光管，扩束镜[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间；来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9]，经分束器[9]分为两束平行光，一束透过分束器[9]经反射镜[8]由原光路返回，另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6]入射到反射面[7]上，再经物镜[6]、分束器[9]返回；上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。