[实用新型]一种二氧化碳激光高反射镜

摘要

本实用新型涉及一种激光反射镜。它由具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆构成，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，该反射镜以硅为基底，然后在此光学平面上真空蒸镀一层或金或银或钼的反射层，然后依次蒸镀氟化钇、硒化锌、氟化钇，最后是硒化锌和氧化铈组成的复合层，其中氟化铈紧挨空气。

主权项

1、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅作为Si基底(1)，然后在此光学平面上真空蒸镀一层金Au的金属反射层(2)(厚度为一千五百至二千埃)，然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe(4)，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF3(5)，最后是由硒化锌ZnSe(7)和氧化铈CeO2(8)组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈CeO2紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。