[发明专利]通过容纳焊膏堆积使衬底隆起的方法无效
申请号: | 95116346.9 | 申请日: | 1995-08-07 |
公开(公告)号: | CN1083155C | 公开(公告)日: | 2002-04-17 |
发明(设计)人: | M·K·施韦伯特;D·T·坎贝尔;M·海丁格;R·E·克拉夫特;H·A·范德普拉斯 | 申请(专利权)人: | 艾加伦特技术公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/768;H01L23/488;H01L23/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 罗才希 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 把焊料隆起物通过模版印刷到衬底上,提供间距小于400微米的隆起的衬底。通过模版/掩模和焊膏法施加焊料,但在回流时掩模仍附着于衬底。通过本发明也可获得大于400微米的间距。本发明还提供了生产体积均匀且可控制的金属球的方法。 | ||
搜索关键词: | 通过 容纳 堆积 衬底 隆起 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在具有多焊接点的衬底上形成焊料隆起物的方法,包括:选择一种不可浸润的焊料的掩模,该掩模具有第一和第二的平面侧;当掩模放置于接近衬底上时,使位于选择的掩模的侧面之间的开孔与焊接点对准以形成预制的掩模;将预制的掩模与衬底对齐,以使掩模第一平面侧平放在衬底上,且使掩模对准衬底,将开孔置于焊接点上;用焊接用的金属粉末和焊药填塞开孔直至掩模的第二平面侧,以使焊接用的金属粉末和焊药接触焊接点,且充分地填塞开孔;加热衬底、掩模及焊接用的金属粉末和焊药以使开孔内的焊接用金属粉末融合成焊料隆起物,然后冷却衬底和焊料隆起物,使焊料隆起物成形并固定在焊接点上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾加伦特技术公司,未经艾加伦特技术公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/95116346.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造